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金剛石線切割技術(shù)簡(jiǎn)析
發(fā)布日期：2024-09-02 點(diǎn)擊：1141

以生產(chǎn)工藝劃分，金剛石線可以分為電鍍金剛石線切割和樹脂金剛石線。金剛石切割線是通過一定的方法，將金剛石鍍覆在鋼線上制成，通過金剛石切割機(jī)，金剛石切割線可以與物件間形成相對(duì)的磨削運(yùn)動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)切割的目的。


金剛石線是用復(fù)合電鍍的方法將高硬，高耐磨性的金剛石微粉固結(jié)在鋼絲基體上，而制成固結(jié)磨料金剛石鋸線。在切割過程中90%的抗拉強(qiáng)度來(lái)自鋼絲線，因此鋼絲線對(duì)金剛石線至關(guān)重要。

在自由磨料線鋸切割過程中，研磨液由噴嘴直接噴到鋼絲線與硅晶體上，由線網(wǎng)的鋼絲線帶動(dòng)游離磨料對(duì)硅晶體進(jìn)行切割。與游離磨料不同，金剛石線將金剛石微分固結(jié)到鋼絲線上，鋼絲線往復(fù)移動(dòng)對(duì)硅晶體進(jìn)行切割。

傳統(tǒng)砂漿的利用鋼絲的快速運(yùn)動(dòng)將含磨料的液體帶入到工件切縫中，產(chǎn)生切削作用。在切割過程中，碳化硅被沖刷下來(lái)，唯有持續(xù)進(jìn)行滾動(dòng)磨削，而減少切割效率。碳化硅的硬度 9.5（莫氏），而金剛石硬度在 10（莫氏）。金鋼線切割線速度基本在 15m/s，正常切割的砂漿線速度基本在 9-11.5m/s。而若金鋼線再做突破的話，就應(yīng)該是要更硬，同時(shí)兼有更好的自銳性（多晶金剛石），更穩(wěn)定的固結(jié)方式，更快的線速度。

金剛石切割線相比傳統(tǒng)工藝有三大優(yōu)勢(shì)：

1）金剛石線切割漏損少，壽命長(zhǎng)，切割速度快，切割效率高，提升產(chǎn)能；

2）品質(zhì)受控，單片成本低，金剛石線切割造成的損傷層小于砂漿線切割，有利于切割更薄的硅片；

3）環(huán)保，金剛石線使用水基磨削液（主要是水），有利于改善作業(yè)環(huán)境，同時(shí)簡(jiǎn)化洗凈等后道加工程序。

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