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從硅料到硅片工藝流程及設(shè)備一切片機(jī)及金剛線切割
發(fā)布日期：2024-09-02 點(diǎn)擊：694
金剛線切割是硅片切割的主要方式，以電鍍金剛線為主。電鍍金剛石線是一種在鍍液中添加一定的金剛石磨料，當(dāng)鍍液中的金屬離子在陰還原成金屬，沉積在線鋸基體上時(shí)，金剛石微粒被包覆進(jìn)入鍍層而制成的線性鋸切工具。制作過程包括預(yù)處理、預(yù)鍍、上砂、加厚和后續(xù)處理等。預(yù)處理為鍍前對(duì)基體打磨、堿洗除油和酸洗活化;預(yù)鍍是為了在基體與金剛石之間鍍上過渡層;緊接著的上砂工藝將金剛石電鍍到基體上;加厚工藝增加了鎳鍍層對(duì)金剛石磨料的結(jié)合力。
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